6N (≥99.9999% शुद्धता) अति-उच्च-शुद्धता असलेल्या सल्फरच्या उत्पादनासाठी ट्रेस धातू, सेंद्रिय अशुद्धता आणि कण काढून टाकण्यासाठी बहु-स्तरीय ऊर्धपातन, खोल शोषण आणि अति-स्वच्छ गाळण्याची प्रक्रिया आवश्यक आहे. खाली व्हॅक्यूम ऊर्धपातन, मायक्रोवेव्ह-सहाय्यित शुद्धीकरण आणि अचूक उपचारानंतरच्या तंत्रज्ञानाचे एकत्रित करणारी एक औद्योगिक-स्तरीय प्रक्रिया आहे.
I. कच्च्या मालाची पूर्व-उपचार आणि अशुद्धता काढून टाकणे
१. कच्च्या मालाची निवड आणि पूर्व-उपचार
- आवश्यकता: सुरुवातीची सल्फर शुद्धता ≥99.9% (3N ग्रेड), एकूण धातूची अशुद्धता ≤500 ppm, सेंद्रिय कार्बनचे प्रमाण ≤0.1%.
- मायक्रोवेव्ह-सहाय्यित वितळणे:
कच्च्या सल्फरची प्रक्रिया मायक्रोवेव्ह रिअॅक्टरमध्ये (२.४५ GHz वारंवारता, १०-१५ kW पॉवर) १४०-१५०°C वर केली जाते. मायक्रोवेव्ह-प्रेरित द्विध्रुवीय रोटेशन जलद वितळण्याची खात्री देते आणि सेंद्रिय अशुद्धी (उदा., टार संयुगे) विघटित करते. वितळण्याची वेळ: ३०-४५ मिनिटे; मायक्रोवेव्ह प्रवेश खोली: १०-१५ सेमी - डीआयोनाइज्ड वॉटर वॉशिंग:
पाण्यात विरघळणारे क्षार (उदा. अमोनियम सल्फेट, सोडियम क्लोराईड) काढून टाकण्यासाठी वितळलेले सल्फर १:०.३ वस्तुमान गुणोत्तरावर एका ढवळलेल्या अणुभट्टीमध्ये (१२०°C, २ बार दाब) १ तासासाठी विरघळलेले पाणी (प्रतिरोधकता ≥१८ MΩ·सेमी) मध्ये विरघळवले जाते. जलीय अवस्था डिकंट केली जाते आणि २-३ चक्रांसाठी पुन्हा वापरली जाते जोपर्यंत चालकता ≤५ μS/सेमी.मी. पर्यंत पोहोचत नाही.
२. बहु-टप्प्याचे शोषण आणि गाळणे
- डायटोमेशियस अर्थ/सक्रिय कार्बन शोषण:
धातूंचे संकुल आणि अवशिष्ट सेंद्रिय पदार्थ शोषण्यासाठी नायट्रोजन संरक्षणाखाली (१३०°C, २-तास ढवळत) वितळलेल्या सल्फरमध्ये डायटोमेशियस अर्थ (०.५-१%) आणि सक्रिय कार्बन (०.२-०.५%) जोडले जातात. - अल्ट्रा-प्रिसिजन फिल्ट्रेशन:
≤0.5 MPa सिस्टम प्रेशरवर टायटॅनियम सिंटर्ड फिल्टर (0.1 μm छिद्र आकार) वापरून दोन-स्तरीय गाळण्याची प्रक्रिया. गाळण्याची प्रक्रिया केल्यानंतरच्या कणांची संख्या: ≤10 कण/लिटर (आकार >0.5 μm).
II. मल्टी-स्टेज व्हॅक्यूम डिस्टिलेशन प्रक्रिया
१. प्राथमिक ऊर्धपातन (धातूची अशुद्धता काढून टाकणे)
- उपकरणे: ३१६ लिटर स्टेनलेस स्टील स्ट्रक्चर्ड पॅकिंगसह उच्च-शुद्धता क्वार्ट्ज डिस्टिलेशन कॉलम (≥१५ सैद्धांतिक प्लेट्स), व्हॅक्यूम ≤१ kPa.
- ऑपरेशनल पॅरामीटर्स:
- फीड तापमान: २५०–२८०°C (सभोवतालच्या दाबाखाली सल्फर ४४४.६°C वर उकळते; व्हॅक्यूममुळे उत्कलन बिंदू २६०–३००°C पर्यंत कमी होतो).
- रिफ्लक्स प्रमाण: ५:१–८:१; स्तंभाच्या वरच्या तापमानात चढ-उतार ≤±०.५°C.
- उत्पादन: घनरूप सल्फर शुद्धता ≥99.99% (4N ग्रेड), एकूण धातू अशुद्धता (Fe, Cu, Ni) ≤1 ppm.
२. दुय्यम आण्विक ऊर्धपातन (सेंद्रिय अशुद्धता काढून टाकणे)
- उपकरणे: १०-२० मिमी बाष्पीभवन-संक्षेपण अंतरासह शॉर्ट-पाथ मॉलिक्युलर डिस्टिलर, बाष्पीभवन तापमान ३००-३२०°C, व्हॅक्यूम ≤०.१ पा.
- अशुद्धता वेगळे करणे:
कमी उकळणारे सेंद्रिय पदार्थ (उदा. थायोइथर्स, थायोफेन) बाष्पीभवन करून बाहेर काढले जातात, तर जास्त उकळणारे अशुद्धता (उदा. पॉलीअरोमॅटिक्स) आण्विक मुक्त मार्गातील फरकांमुळे अवशेषांमध्ये राहतात. - उत्पादन: सल्फर शुद्धता ≥99.999% (5N ग्रेड), सेंद्रिय कार्बन ≤0.001%, अवशेष दर <0.3%.
३. तृतीयक क्षेत्र शुद्धीकरण (६N शुद्धता प्राप्त करणे)
- उपकरणे: मल्टी-झोन तापमान नियंत्रणासह क्षैतिज झोन रिफायनर (±0.1°C), झोन प्रवास गती 1–3 मिमी/ता.
- वेगळे करणे:
पृथक्करण सहगुणकांचा वापर करणे (K=Csolid/Cliquid)K=Cघन /Cद्रव) , २०-३० झोन इनगॉटच्या टोकावर केंद्रित धातू (जसे, Sb) मधून जातो. सल्फर इनगॉटचा शेवटचा १०-१५% टाकून दिला जातो.
III. उपचारानंतर आणि अल्ट्रा-क्लीन फॉर्मिंग
१. अति-शुद्ध द्रावक काढणे
- इथर/कार्बन टेट्राक्लोराईड काढणे:
ध्रुवीय सेंद्रिय पदार्थ काढून टाकण्यासाठी सल्फरला अल्ट्रासोनिक सहाय्याने (४० kHz, ४०°C) ३० मिनिटे क्रोमॅटोग्राफिक-ग्रेड इथर (१:०.५ आकारमान गुणोत्तर) मिसळले जाते. - सॉल्व्हेंट रिकव्हरी:
आण्विक चाळणीचे शोषण आणि व्हॅक्यूम डिस्टिलेशन द्रावक अवशेष ≤0.1 पीपीएम पर्यंत कमी करते.
२. अल्ट्राफिल्ट्रेशन आणि आयन एक्सचेंज
- पीटीएफई मेम्ब्रेन अल्ट्राफिल्ट्रेशन:
वितळलेले सल्फर ०.०२ μm PTFE पडद्याद्वारे १६०-१८०°C आणि ≤०.२ MPa दाबावर फिल्टर केले जाते. - आयन एक्सचेंज रेझिन्स:
चेलेटिंग रेझिन्स (उदा., एम्बरलाइट IRC-748) 1-2 BV/तास प्रवाह दराने ppb-स्तरीय धातू आयन (Cu²⁺, Fe³⁺) काढून टाकतात.
३. अति-स्वच्छ पर्यावरण निर्मिती
- निष्क्रिय वायू अणुकरण:
दहावीच्या क्लीनरूममध्ये, वितळलेल्या सल्फरचे नायट्रोजन (०.८–१.२ एमपीए दाब) सह ०.५–१ मिमी गोलाकार ग्रॅन्युलमध्ये (ओलावा <०.००१%) अणुरूपात रूपांतर केले जाते. - व्हॅक्यूम पॅकेजिंग:
ऑक्सिडेशन टाळण्यासाठी अंतिम उत्पादन अल्ट्रा-प्युअर आर्गॉन (≥99.9999% शुद्धता) अंतर्गत अॅल्युमिनियम कंपोझिट फिल्ममध्ये व्हॅक्यूम-सील केले जाते.
IV. प्रमुख प्रक्रिया पॅरामीटर्स
प्रक्रियेचा टप्पा | तापमान (°C) | दबाव | वेळ/वेग | मुख्य उपकरणे |
मायक्रोवेव्ह वितळवणे | १४०-१५० | अॅम्बियंट | ३०-४५ मिनिटे | मायक्रोवेव्ह रिअॅक्टर |
डीआयोनाइज्ड वॉटर वॉशिंग | १२० | २ बार | १ तास/चक्र | हलवलेला अणुभट्टी |
आण्विक ऊर्धपातन | ३००–३२० | ≤0.1 पाउंड | सतत | शॉर्ट-पाथ मॉलिक्युलर डिस्टिलर |
झोन रिफायनिंग | ११५–१२० | अॅम्बियंट | १-३ मिमी/तास | क्षैतिज झोन रिफायनर |
पीटीएफई अल्ट्राफिल्ट्रेशन | १६०-१८० | ≤०.२ एमपीए | १-२ चौरस मीटर/ताशी प्रवाह | उच्च-तापमान फिल्टर |
नायट्रोजन अणुकरण | १६०-१८० | ०.८–१.२ एमपीए | ०.५-१ मिमी ग्रॅन्यूल | अॅटोमायझेशन टॉवर |
V. गुणवत्ता नियंत्रण आणि चाचणी
- ट्रेस अशुद्धता विश्लेषण:
- जीडी-एमएस (ग्लो डिस्चार्ज मास स्पेक्ट्रोमेट्री): ≤0.01 ppb वर धातू शोधते.
- TOC विश्लेषक: सेंद्रिय कार्बन ≤0.001 पीपीएम मोजते.
- कण आकार नियंत्रण:
लेसर डिफ्रॅक्शन (मास्टरसायझर ३०००) D५० विचलन ≤±०.०५ मिमी सुनिश्चित करते. - पृष्ठभागाची स्वच्छता:
XPS (एक्स-रे फोटोइलेक्ट्रॉन स्पेक्ट्रोस्कोपी) पृष्ठभागाच्या ऑक्साईडची जाडी ≤1 nm असल्याची पुष्टी करते.
सहावा. सुरक्षितता आणि पर्यावरणीय रचना
- स्फोट प्रतिबंध:
इन्फ्रारेड फ्लेम डिटेक्टर आणि नायट्रोजन फ्लडिंग सिस्टम ऑक्सिजनची पातळी <3% राखतात - उत्सर्जन नियंत्रण:
- आम्ल वायू: दोन-स्तरीय NaOH स्क्रबिंग (२०% + १०%) ≥९९.९% H₂S/SO₂ काढून टाकते.
- व्हीओसी: झिओलाइट रोटर + आरटीओ (८५०°C) मिथेन नसलेले हायड्रोकार्बन ≤१० मिग्रॅ/मीटर³ पर्यंत कमी करते.
- कचरा पुनर्वापर:
उच्च-तापमान कमी केल्याने (१२००°C) धातू पुनर्प्राप्त होतात; अवशेष सल्फरचे प्रमाण <०.१%.
सातवा. टेक्नो-इकॉनॉमिक मेट्रिक्स
- ऊर्जेचा वापर: प्रति टन ६ नॅनो सल्फरसाठी ८००-१२०० किलोवॅट प्रति तास वीज आणि २-३ टन वाफ.
- उत्पन्न: सल्फर पुनर्प्राप्ती ≥८५%, अवशेष दर <१.५%.
- खर्च: उत्पादन खर्च ~१२०,०००–१८०,००० CNY/टन; बाजारभाव २५०,०००–३५०,००० CNY/टन (सेमीकंडक्टर ग्रेड).
ही प्रक्रिया सेमीकंडक्टर फोटोरेझिस्ट, III-V कंपाऊंड सब्सट्रेट्स आणि इतर प्रगत अनुप्रयोगांसाठी 6N सल्फर तयार करते. रिअल-टाइम मॉनिटरिंग (उदा., LIBS एलिमेंटल विश्लेषण) आणि ISO क्लास 1 क्लीनरूम कॅलिब्रेशन सुसंगत गुणवत्ता सुनिश्चित करतात.
तळटीपा
- संदर्भ २: औद्योगिक सल्फर शुद्धीकरण मानके
- संदर्भ ३: केमिकल इंजिनिअरिंगमधील प्रगत गाळण्याची प्रक्रिया तंत्रे
- संदर्भ ६: उच्च-शुद्धता सामग्री प्रक्रिया पुस्तिका
- संदर्भ ८: सेमीकंडक्टर-ग्रेड केमिकल प्रोडक्शन प्रोटोकॉल
- संदर्भ ५: व्हॅक्यूम डिस्टिलेशन ऑप्टिमायझेशन
पोस्ट वेळ: एप्रिल-०२-२०२५